國產臺式掃描電鏡掃描速度快,信號采集帶寬10M,可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作,不需對中光闌等復雜步驟,聚焦消像散后可直接拍圖。主機集成高壓及控制系統,體積小巧,便于移動,可出差攜帶,安裝無需特殊環(huán)境,只需找一張桌子,供電就可工作。
國產臺式掃描電鏡的優(yōu)勢:
操作簡便、進樣換樣時間短,視試效率高。
鎢燈絲耗材成本低、更換簡單。
分辨率及放大倍數優(yōu)于光學顯微鏡,夏蓋大多數樣品電鏡測試需求。
可拓展元素分析能力。
無需特殊安裝環(huán)境、對震動、磁場抗干擾能力強。
國產臺式掃描電鏡用較細的電子束在樣品表面掃描(高速電子轟擊樣品),將產生的各種電子用特制的探測器收集,形成電信號運送到顯像管,在熒光屏上顯示物體,或者將激發(fā)出來的特征X光通過能譜儀或者波譜儀進行定量的成分分析的一種分析儀器。
掃描電鏡分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關,電子束斑越小,電子在試樣上的分辨率越高。在保證束斑足夠小的情況下,電子束還要有足夠的強度。束流太低不能從試樣表面激發(fā)足夠的信號,噪聲影響大。
二次電子對形貌敏感。凸起部位亮,凹陷部位暗,景深好,細節(jié)清晰。
背散射電子對原子序數敏感,原子序數高的區(qū)域能得到更多的背散射電子,相應圖像較亮,可以用來觀察材料成分的分部。
X光原子被激發(fā)會發(fā)出X光,每種元素受激發(fā)射發(fā)出的X光會不同,通過對不同X光進行檢測,就可知道材料中包括什么元素和比例。
背散射探測器受真空度影響不大,可以適用于高真空和低真空模式。
二次電子探頭受真空影響較大,分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探頭。